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在供氣回路中要設計載荷補償機構(gòu)及自動調(diào)壓裝置使氣浮間隙變化很小，壓力彈簧和滾輪控制氣浮間隙；或者合理布局氣墊讓其自動平衡調(diào)整，對高精度測量機，氣浮的精度應在0.001-0.002mm以內(nèi)。

其次可以提高導軌運動時的阻尼力，氣墊的孔越多阻尼力越大，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊，用大面積的微孔代替小孔節(jié)流氣墊，阻尼力會更大。在精密機械零部件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑，由于導軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。

還可以采用半氣浮導軌的結(jié)構(gòu)形式，坐標機為氣浮導軌和機械導軌相結(jié)合的形式，利用了兩種導軌運動特性的優(yōu)點，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導軌間隙恒定，且增加了導軌運動的阻尼力，從而提高了導軌的運動性能。

通常精密機械零部件加工，機床不適合在污濁和高溫潮濕的環(huán)境中工作，電網(wǎng)供電環(huán)境也有較高的要求，機床供電電壓不應劣于±10%，三相應平衡穩(wěn)定。過于惡劣的電網(wǎng)必須加裝穩(wěn)壓電源，機床除正常的保持整潔和潤滑以外，還必須用心維護及其的各個部件。